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                    首页    研磨分析测控    OLAM-F11在线研磨分析测控仪
                    OLAM-F11
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                    OLAM-F11在线研磨分析测控仪

                    用于晶片研磨时的在线实时频率测控和数据分析,实现对研磨工序的高效管控。

                    高效的晶片在线研磨过程控制

                     

                    —传统的研磨控制器,控制精度较低,多盘研磨时各盘中心频率离散较大。

                    —OLAM-F11,实现研磨过程中频率的在线精密测量,真正做到?;涂墒樟?,实现更少的作业员管理更多的研磨机;

                      高频表现比传统方法尤为稳定。

                     

                    超凡高效

                     

                    —拥有超高采样频率以及响应速率,可应对5.5—80MHz产品要求。

                    —无需中途抽测再补磨,?;纯墒樟?,有效降低对作业员的技能要求。

                    —多盘研磨比传统控制方式盘间离散性降低50%,有效提升后制程效率,降低成本。

                     

                    提升管控

                     

                    —可连接MES系统,通过局域网下传生产工单。

                    —可连接条码枪扫描工单,与局域网下传到OLAM的工单信息进行核对,保障加工正确。

                    —实时记录和显示研磨速率及盘内离散状态,用户可制定规范,优化制程。

                    —全程自动记录并存储仪器的操作以及参数设置状态,可追溯整个加工过程。

                    —可输出生产数据,提供对研磨变量的综合智能化管控与分析的依据。

                    —数据可通过局域网上传至服务器或存储至本机SD卡。

                     

                    校准补偿

                     

                    针对不同研磨环境,可在人工输入足够多的修正点后,提供函数拟合工具进行全频段拟合校准,使全频段测试更加精确。

                     

                    可输出内容

                     

                    —实时研磨频率

                    —实时谐振频率

                    —实时单片和整盘散差

                    —谐振频率变化图

                    —整盘散差变化图

                    —历史操作记录

                    —异常状态提示

                     

                    工作原理

                     

                    研磨机启动后,OLAM扫描探测信号频率,信号经过探头耦合到上磨盘电极,当电极滑动到石英晶片上方时,检测电路依据“动态搜索算法”找到晶片的有效谐振波形,并根据最大传输法原理得到晶片的实时谐振频率平均值,当平均值达到目标频率后,仪器发出关停指令,使研磨机?;?。

                     

                    安全机制

                     

                    1. 初始频率异常:开始进入研磨程序后,若检测到实时频率和输入的初始频率不符合时,将?;ň?。

                    2. 速率阈值异常:当实时研磨速率超过或小于设定范围时,将?;ň?。

                    3. 散差阈值异常:当散差与设定范围不符时,将弹出警示窗口。

                    4. 频率跟踪异常:当实时频率跟踪异常时,将弹出警示对话框或?;ň?。

                    5. 圈数传感器异常:OLAM在研磨或修盘状态下,如果超过设定的时间没有圈数信号进入,将?;ň?。

                    6. ?;斐#悍⒊鐾;刂菩藕藕蠡魑赐?,将报警。

                    7. 接入异常:研磨机控制接口未与OLAM可靠连接,将报警。

                    8. 权限管理:可设置不同的管理权限,防止参数误修改。

                     

                    技术参数

                     

                    外形尺寸(长宽高)

                    345*320*165mm

                    重量

                    7.5kg

                    操控界面

                    7英寸触控屏

                    适合晶片切型

                    AT

                    探测输入

                    全频段探头

                    动态测频范围

                    5.5-80MHz

                    动态测频精度

                    <0.2%  2000ppm

                    动态测频速度

                    250Hz Max

                    数据传输

                    以太网和SD存储卡

                     

                     

                     

                     

                     

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